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油扩散真空泵概述

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-12-09 0:17:08 * 浏览: 10
油扩散真空泵(简称油扩散泵)是获得高真空或超高真空的主要设备。它广泛用于电子工业,化学工业,真空冶金,真空热处理,真空镀膜设备,原子能工业和空间模拟设备等高科技领域。扩散泵的工作压力范围为10 ^ -2Pa〜100-5Pa,极限压力一般为7倍,10 ^ -6Pa。如果通过高温烘烤进行脱气,则可获得的真空度为10 ^ -8Pa。该泵具有大的抽速和宽的抽速范围(每秒几升至每秒几十万升)。它的特点是结构简单,无机械活动部件,使用寿命长,可靠性高,操作维护方便等。我国制定了油扩散泵行业标准。该标准规定了泵的技术性能,类型,参数和测试方法。国内许多真空生产厂家都有固定系列(K,KT)产品。新型KTD系列高真空低回油扩散泵具有抽速高(300L / smdash,55000L / s)和低回油率[le,6倍,10 ^ -4g /(cm ^ 2.s)]的优点。 。该泵将水冷油盖和泵体集成为一个整体,简化了结构并提高了真空泵系统的有效泵速。 ZK系列高真空充油泵按照抽油机构仍是扩散油泵。它具有1.3倍的大抽速和10 ^ -lPa的特点,并采用内部加热方式来缩短泵的启动时间。