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影响真实真空系统的因素-烘烤

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-01-08 8:05:21 * 浏览: 0
为了达到超高真空范围(lt,10-8hPa)中的压力,必须满足以下条件:■真空泵的底部压力应小于所需极限压力的10倍。真空室和组件中使用的材料必须针对z *的少量空气输出进行优化,并具有合适的表面处理等级。 ■■应使用金属密封件(例如CF法兰连接或ISO法兰标准Helicoflex密封件)。 ■■对于超高真空,必须进行清洁,即在安装之前必须彻底清洁所有组件,并且必须安装无油脂的手套才能进行安装。 ■■必须烘烤设备和高真空泵。 ■■在启动加热器之前,必须避免并消除泄漏。为此,必须使用氦气检漏仪或四极质谱仪。烘烤显着增加了解吸和扩散速率,从而显着减少了抽吸时间。作为制造过程的下一步,用于特高压应用的腔室可以在高达900°C的温度下进行降解。随后的烘烤温度可能达到300°C。泵制造商对高真空泵法兰z的说明*高烘烤温度将运行中的z *高温限制在120℃。如果在真空设备中使用热源(例如,辐射加热),则不得超过允许的辐射功率。设备安装后即投入运行。达到10-5 hPa的压力后,打开加热器。在加热过程中,真空计每隔10小时运行并脱气一次。如果使用具有适当表面处理等级的不锈钢容器和金属密封件,则烘烤温度为120°C,加热时间约为48小时,足以达到10-10 hPa的压力范围。烘烤应持续到达到预期极限压力的100倍。然后关闭真空室的泵和加热器。冷却后,很可能会达到所需的极限压力。当压力低于5middot,10-10hPa且内部表面积较大时,使用气体粘合泵(钛热升华泵)将大量抽出从金属逸出的氢是有利的流。